![]() Заглавная страница Избранные статьи Случайная статья Познавательные статьи Новые добавления Обратная связь КАТЕГОРИИ: ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ТОП 10 на сайте Приготовление дезинфицирующих растворов различной концентрацииТехника нижней прямой подачи мяча. Франко-прусская война (причины и последствия) Организация работы процедурного кабинета Смысловое и механическое запоминание, их место и роль в усвоении знаний Коммуникативные барьеры и пути их преодоления Обработка изделий медицинского назначения многократного применения Образцы текста публицистического стиля Четыре типа изменения баланса Задачи с ответами для Всероссийской олимпиады по праву ![]() Мы поможем в написании ваших работ! ЗНАЕТЕ ЛИ ВЫ?
Влияние общества на человека
Приготовление дезинфицирующих растворов различной концентрации Практические работы по географии для 6 класса Организация работы процедурного кабинета Изменения в неживой природе осенью Уборка процедурного кабинета Сольфеджио. Все правила по сольфеджио Балочные системы. Определение реакций опор и моментов защемления |
Методы диагностики нитридных покрытий
Существует широкий спектр методов диагностики покрытий [7]. Современные методы анализа материалов основываются на использовании явлений взаимодействия твердого тела с потоками частиц или электромагнитными волнами. Наши представления о структуре атомов и атомного ядра основаны на результатах экспериментов по рассеянию частиц. Методы структурного анализа позволяет исследовать особенности структуры пленки: параметр решетки, наличие преципитатов и дефектов. Современные методы анализа материалов основываются на использовании явлений взаимодействия твердого тела с потоками частиц или электромагнитными волнами. Эти взаимодействия и появляющиеся в результате него излучение частицы подчиняются фундаментальным физическим законам. Определение параметров излучения и частиц, появляющихся в результате взаимодействия, дает информацию о составе и структуре твердого тела. Анализ элементного состава основывается на анализе энергий испущенных частиц или излучения; определение концентрации атомов основано на измерении интенсивности излучения. В современных исследованиях в области анализа материалов основной акцент делается на изучении структуры поверхности материала и его приповерхностных слоев, толщиной от нескольких десятков до сотен нанометров. Этот обстоятельство вытекает из понимания того, что поверхность и приповерхностные слои определяют многие из механических и химических свойств твердых тел: коррозию, трение, износ, адгезию и твердость. Информация о составе и структуре приповерхностных слоев материалов может быть также получена с помощью лазерного излучения, пучков электронов и ионов. Анализ материалов включает количественное описание параметров структуры, состава, количества и распределения вещества по глубине, получаемых с использованием имеющих достаточную энергию пучков частиц (например, ионов, нейтронов, альфа-частиц, протонов и электронов) и фотонов (например, инфракрасное излучение, видимый свет, ультрафиолетовое излучение, рентгеновское излучение и гамма-излучение). Схематично методики анализа материалов могут быть представлены следующим образом. Падающий поток фотонов или частиц, имеющих определенную энергию, направляется на поверхность исследуемого материала. Падающее излучение взаимодействует с веществом различными способами; это взаимодействие (R) вызывает эмиссию имеющих определенную энергию частиц или фотонов, которые регистрируются с помощью соответствующих детекторов (детектируемые или регистрируемые пучки) Соответствующая схема представлена на рисунке 9.
Рисунок 9 – Схематичное представление фундаментальных принципов анализа материалов. Существует большое количество методик, которые могут использоваться для анализа твердых тел. Рисунок 10 дает представление о возможных вариантах. В некоторых случаях один и тот же тип излучения используется и как падающее и как регистрируемое. Ниже приведены примеры таких методик и обычно используемых для их обозначения аббревиатур (в скобках). Падающее излучение - первичные электроны; регистрируемое излучение - Оже-электроны: Оже-электронная спектроскопия (ОЭС- AES). Падающее излучение - альфа-частицы; регистрируемое излучение - альфа частицы: спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния (CPOP-RВS). Падающее излучение - рентгеновские лучи; регистрируемое излучение рентгеновские лучи: рентгеновская флуоресцентная спектроскопия (PФC-XRF). В других случаях падающее и регистрируемое излучение различаются по своей природе, как в ниже приведенных примерах. Падающее излучение - рентгеновские лучи; регистрируемое излучение-электроны: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС-ХРS). Падающее излучение - электроны; регистрируемое излучение - рентгеновские лучи: электронный микроанализ (ЭМА-ЕМА). Падающее излучение - ионы; регистрируемое излучение - вторичные ионы: масс-спектроскопия вторичных ионов (BИMC-SIMS).
Рисунок 10 – Схема расположения источника излучения и детекторов в методиках анализа пленок. Рисунок 11 – Схема анализа в виде комбинаций почти всех возможных зондирующих и детектируемых типов излучений т. е. падающих и испущенных фотонов или падающих ионов и испущенных фотонов. Во многих случаях камеры для исследований также содержат оборудование для воздействия на образец, например в виде ионного распыления, а также испарители для напыления или для осаждения материала на чистую подложку в вакууме
Пучок частиц, падающий на образец, либо упруго рассеивается, либо вызывает переход электронов в атоме с одного энергетического уровня на другой. Рассеянная частица или энергия исходящего излучения несут информацию об атоме. Энергетические уровни, между которыми происходят переходы, являются характеристическими для атомов; следовательно, измерение энергетического спектра, испущенного излучения позволяет идентификацию типа атома. Ниже в таблице 1 перечислены все возможные способы структурной и элементной диагностики покрытий. Таблица 1 – Обзор методов, использующих различные виды падающих зондирующих пучков, сопровождающихся возникновением того или иного излучения, а также отличающихся типом регистрируемого пучка.
Диагностику можно проводить по оптическим и механическим свойствам материала, в том числе в виде тонких пленок К механическим свойствам пленок относятся: · Адгезия. · Износостойкость и коэффициент трения. · Напряжения. · Упругость, микротвердость и прочность. К оптическим свойствам пленок относятся: · Коэффициент отражения · Коэффициент поглощения Знания этих величин является важным для практического использования тонких пленок и тонкопленочных покрытий. В дипломной работе для исследования структурой и оптических свойств пленок использовались растровая электронная микроскопия(РЭМ), спектрофотометрия и оптическая микроскопия.
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||
Последнее изменение этой страницы: 2016-08-06; просмотров: 182; Нарушение авторского права страницы; Мы поможем в написании вашей работы! infopedia.su Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Обратная связь - 3.142.119.185 (0.008 с.) |